Дюжев Н. А.
Директор (Дирекция ЦКП),
Директор центра (Научно-технологический центр "Нано- и микросистемной техники" (НТЦ НМСТ))
Ученая степень: кандидат физико-математических наук

Махиборода М.А.
Заместитель директора центра (Научно-технологический центр "Нано- и микросистемной техники" (НТЦ НМСТ))

Медведев Б.К.
Ведущий инженер (Научно-технологический центр "Нано- и микросистемной техники" (НТЦ НМСТ)),
Начальник лаборатории (НИЛ "Аналитические методы исследования поверхностей" (АМИП))