Тепловые преобразователи на основе мембранной МЭМС-технологии и датчики на их основе

Чувствительный элемент

Изготовлен по МЭМС-технологии.

Диапазон измеряемых скоростей:
0.05 – 10 м/с
Время срабатывания:
4 мс.
Энергопотребление (в импульсе):
10 мА.

Бытовой счетчик расхода газа

Измеряемый диапазон расхода:
     от 0.016 до 6 м3/ч.
Погрешность: 
    не более 3%  от 0.016 до 0.16 м3/ч; 
    не более 1.5% от 0.16 до 6 м3/ч.
Диапазон температур: -30…+60°C.
Напряжение питания:
3.6 В.
Потребляемая мощность:
1.5 мВт.

Цифровой ротаметр

Измеряемая среда:
воздух.
Рабочий диапазон:
от 0.04 до 3 л/мин.
Погрешность измерения:
не более 5 %.
Температура среды:
от +5 до +40 Сº.
Напряжение питания датчика:
12 В.

В данный момент ведется разработка преобразователя скорости газового потока, преобразователя давления остаточных газов, преобразователя тепловых характеристик газовой среды для индикации взрывоопасных газов (Задание № 16.2475.2017/ПЧ).

---