Технологический комплекс плазменного, реактивно-ионного травления кремния и обработки материалов

Страна: Соединённые Штаты Америки
Фирма-изготовитель: STS
Марка: STS
Год: 2005

---

Предназначен для сухого травления кремния (Bosch процесс, изотропное травление кремния), диэлектрических слоев и металлов.