Технологический комплекс пиролитических процессов и плазмостимулированного осаждения материалов SVFUR-LH4 (SVCS)

Страна: Чехия
Фирма-изготовитель: SVCS
Марка: SVFUR-LH4
Год: 2005

---

Позволяет проводить PE CVD процессы осаждения нитрида, оксида и оксинитрида кремния.