2017 г.

Формирование планарной поверхности пластин для проведения технологических операций контактной литографии и бондинга

Автор(ы): Гусев Е.Э., Дюжев Н. А., Махиборода М.А., Катеев М.В.
Опубликовано: Нано- и микросистемная техника – 2017. – Т. 19. – №1. – С. 30–33.
DOI: 10.17587/nmst.19.30-33
Импакт-фактор: 0,327
Статус: ВАК