Гусев Е.Э.

Инженер (НИЛ "Разработка изделий" (РИ))

Статьи

1. Determination of mechanical properties of MEMS membranes, 2017 г.

   Cборник трудов 3его форума «Новые материалы» – 2017. – С. 251–254

2. Determination of mechanical stress in the silicon nitride films with a scanning electron microscope, 2017 г.

   Proceedings SPIE – 2016. – Vol. 10224. – P. 1022428

3. Development and Study of a Conceptual Model of an X-Ray Source with a Field Emission Cathode, 2017 г.

   Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Technique – 2017. – Vol. 11. – No. 2. – Р. 443–448.

4. Fabrication and Study of Parameters and Properties of Nanostructured Membranes for MEMS Devices, 2017 г.

   Nanotechnologies in Russia – 2017. – Vol. 12. – No. 7–8. – P. 414–425

5. Non-Contact Technique for Determining the Mechanical Stress in thin Films on Wafers by Profiler, 2017 г.

   IOP Conf. Ser.: Materials Science and Engineering – 2017. – Vol.189. – P.1–6.

6. Study of mathematical model of membrane type flow sensor, 2017 г.

   Proceedings of the 2017 IEEE Russia Section Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering Conference February 1 - 3,2017 Part II – 2017. – Р. 530–533

7. The Influence of Heat Treatment on The Magnitude of Mechanical Stresses in The Process of Forming a Field Emission Cathode-Grid Node, 2017 г.

   Proceedings of the 2017 IEEE Russia Section Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering Confe rence. Part II – 2017. – P. 492–495

8. The Influence of Heat Treatment on The Magnitude of Mechanical Stresses in The Process of Forming a Field Emission Cathode-Grid Node, 2017 г.

   Proceedings of the 2017 IEEE Russia Section Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering Confe rence. Part II – 2017. – Р. 1397–1400

9. Исследование влияния операционных параметров процесса PECVD на характеристики плёнок диоксида кремния, 2017 г.

   Нано- и микросистемная техника – 2017. – Т 19. – № 6. – С. 331–337

10. Исследование механических свойств многослойных мембран для МЭМС структур, 2017 г.

    Наноиндустрия – 2017. – 4(74). – С. 575–577.

11. Исследование механической прочности многослойных мембран для МЭМС преобразователей физических величин, 2017 г.

    Сборник трудов международного форума «Микроэлектроника-2017» – Москва: Техносфера, 2017. – С. 463–468.

12. Разработка и исследование концептуальной модели рентгеновского источника с автоэмиссионным катодом , 2017 г.

    Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2017. – № 4. – С.64–70

13. Тепловые преобразователи физических величин, 2017 г.

    Сборник трудов международного форума «Микроэлектроника-2017» – Москва: Техносфера, 2017. – С.461–463.

14. Формирование планарной поверхности пластин для проведения технологических операций контактной литографии и бондинга, 2017 г.

    Нано- и микросистемная техника – 2017. – Т. 19. – №1. – С. 30–33.

15. Численное моделирование термического напряжения при формировании мембранных микро-электромеханических структур на базе пакетов программ TCAD и COMSOL MULTIPHYSICS, 2017 г.

    Наноструктуры. Математическая физика и моделирование – 2017, 16(1), стр. 41-58