Глаголев П.Ю.

Инженер (НИЛ "Исследование изделий" (ИИ))

Статьи

1. Non-Contact Technique for Determining the Mechanical Stress in thin Films on Wafers by Profiler, 2017 г.

   IOP Conf. Ser.: Materials Science and Engineering – 2017. – Vol.189. – P.1–6.

2. Study of mathematical model of membrane type flow sensor, 2017 г.

   Proceedings of the 2017 IEEE Russia Section Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering Conference February 1 - 3,2017 Part II – 2017. – Р. 530–533

3. Исследование поведения магниторезистивных структур на диэлектрической мембране, 2017 г.

   Сборник трудов XXI международный симпозиум «Нанофизика и наноэлектроника» – Н. Новгород: Издательство Нижегороского госуниверситета им. Н.И. Лобачевского, 2017. – С. 183-184.

4. Численное моделирование термического напряжения при формировании мембранных микро-электромеханических структур на базе пакетов программ TCAD и COMSOL MULTIPHYSICS, 2017 г.

   Наноструктуры. Математическая физика и моделирование – 2017, 16(1), стр. 41-58