Главная страница / О Центре / Сотрудники / Дирекция ЦКП / Научно-технологический центр "Нано- и микросистемной техники" (НТЦ НМСТ) / НИЛ "Разработка технологий" (РТ)
Новиков Д.В.
МНС (НИЛ "Разработка технологий" (РТ))
Статьи
- Fabrication and Study of Parameters and Properties of Nanostructured Membranes for MEMS Devices, 2017 г.
Nanotechnologies in Russia – 2017. – Vol. 12. – No. 7–8. – P. 414–425
- Исследование механических свойств многослойных мембран для МЭМС структур, 2017 г.
Наноиндустрия – 2017. – 4(74). – С. 575–577.
- Тепловые преобразователи физических величин, 2017 г.
Сборник трудов международного форума «Микроэлектроника-2017» – Москва: Техносфера, 2017. – С.461–463.