2017 г.

Fabrication and Study of Parameters and Properties of Nanostructured Membranes for MEMS Devices

Автор(ы): Грязнева Т.А., Гусев Е.Э., Дедкова А.А., Дюжев Н. А., Киреев В.Ю., Кириленко Е.П., Мигунов Д.М., Новиков Д.В., Преснухина А.А., Дронова Д.А., Патюков Н.Н., Бакин А.Д., Ермаков Д.С.
Опубликовано: Nanotechnologies in Russia – 2017. – Vol. 12. – No. 7–8. – P. 414–425
DOI: 10.1134/S1995078017040073
Импакт-фактор: 0.25
Статус: Scopus