2017 г.

Численное моделирование термического напряжения при формировании мембранных микро-электромеханических структур на базе пакетов программ TCAD и COMSOL MULTIPHYSICS

Автор(ы): Глаголев П.Ю., Гусев Е.Э., Дюжев Н. А.
Опубликовано: Наноструктуры. Математическая физика и моделирование – 2017, 16(1), стр. 41-58
Импакт-фактор: 0,129
Статус: ВАК