2017 г.

Исследование механических свойств многослойных мембран для МЭМС структур

Автор(ы): Гусев Е.Э., Дюжев Н. А., Новиков Д.В.
Опубликовано: Наноиндустрия – 2017. – 4(74). – С. 575–577.
Импакт-фактор: 0,274
Статус: ВАК