2017 г.

Determination of mechanical properties of MEMS membranes

Автор(ы): Гусев Е.Э., Дедкова А.А., Дюжев Н. А.
Опубликовано: Cборник трудов 3его форума «Новые материалы» – 2017. – С. 251–254
Статус: -