Дедкова А.А.

Ведущий инженер (Дирекция ЦКП)

Статьи

1. Determination of mechanical properties of MEMS membranes, 2017 г.

   Cборник трудов 3его форума «Новые материалы» – 2017. – С. 251–254

2. Determination of mechanical stress in the silicon nitride films with a scanning electron microscope, 2017 г.

   Proceedings SPIE – 2016. – Vol. 10224. – P. 1022428

3. Development and Study of a Conceptual Model of an X-Ray Source with a Field Emission Cathode, 2017 г.

   Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Technique – 2017. – Vol. 11. – No. 2. – Р. 443–448.

4. Fabrication and Study of Parameters and Properties of Nanostructured Membranes for MEMS Devices, 2017 г.

   Nanotechnologies in Russia – 2017. – Vol. 12. – No. 7–8. – P. 414–425

5. Non-Contact Technique for Determining the Mechanical Stress in thin Films on Wafers by Profiler, 2017 г.

   IOP Conf. Ser.: Materials Science and Engineering – 2017. – Vol.189. – P.1–6.

6. Исследование влияния операционных параметров процесса PECVD на характеристики плёнок диоксида кремния, 2017 г.

   Нано- и микросистемная техника – 2017. – Т 19. – № 6. – С. 331–337

7. Исследование механической прочности многослойных мембран для МЭМС преобразователей физических величин, 2017 г.

   Сборник трудов международного форума «Микроэлектроника-2017» – Москва: Техносфера, 2017. – С. 463–468.

8. Разработка и исследование концептуальной модели рентгеновского источника с автоэмиссионным катодом , 2017 г.

   Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2017. – № 4. – С.64–70