2017 г.

Исследование механической прочности многослойных мембран для МЭМС преобразователей физических величин

Автор(ы): Гусев Е.Э., Дедкова А.А., Дюжев Н. А.
Опубликовано: Сборник трудов международного форума «Микроэлектроника-2017» – Москва: Техносфера, 2017. – С. 463–468.
Статус: -